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製品情報

ドライエッチング排ガス除害装置

ドライエッチング排ガス除害装置の概要

エッチング排ガス除害装置

ドライエッチングガスを除去する化学・物理吸着方式

当社AGEA型除害装置は、半導体集積回路(LSI等)製造時に排出されるフッ素系、 塩素系及び臭素系のガスを経済的に除去する事が可能です。 特殊な充填塔を用いた化学反応又は物理吸着方式により除害します。

除害概略フロー

除害概略フロー

破過検知及び安全対策

(破過検知)

破過検知方式として次の方式を用意しています。単独もしくは併用して使用します。

簡易式インジケーター(標準仕様)
酸性ガスによるpH変動をインジケーターの色の変化で検知します。
ガス濃度検知
定電位電解式センサーによりガス濃度を定量的に検知します。
吸着重量検知
充填剤と対象ガスとの反応・吸着による重量増加をロードセルで検知します。
運転時間監視
充填剤の能力を対象ガス流入時間で監視します。

(安全対策)

ボックス収納
カラムをボックスに収納する事で、地震などによる転倒を防止します。また、ボックスからの直接排気により接続口などからガス洩れによる周囲の汚染を防止します。
温度モニター
カラム周囲の温度を監視することにより、未然に異常発熱・発火事故を防止します。
入口圧力モニター
カラムの入口圧力を監視する事により、充填剤の閉塞。排気ラインの異常を検出します。

処理対象ガス及び吸着剤

ドライエッチング排ガスは、プロセスガス条件により分解生成ガスおよび量が異なります。当社除害装置では以下のプロセスガスおよび分解生成ガスの除去が可能です。

塩素系ガス
Cl2、HCl、BCl3、CCl4、CHCl3、SiCl4
フッ素系
SiF4、F2、HF、SO2F2
臭素系
Br2、HBr、BBr3
その他
SiO2

ガスの除去に用いる充填剤は、プロセスガスの構成により決定いたします。

標準カラム

エッチング排ガス除害装置

収納ボックスにカラムを1塔設置し、破過検知、安全策が施されています。

標準カラムの材質は、2007年よりFRP+PTFE製からSUS304製に変更になりました。

カラム標準仕様

内径
(mm)
充填高さ
(mm)
充填容量
(リットル)
350
1200
115

耐熱  100℃
耐圧  0.05MPa(0.5kg/cm2G)

2塔式自動切換型

エッチング排ガス除害装置
  • 収納ボックス内にカラムを2塔設置し、1塔が破過すると自動的に新しいカラムに切り換わります。
  • カラム交換の時間的制約がほとんどありません。
  • AGEA型除害装置では従来のようにエッチングマシン毎に除害装置を設ける必要がなく、本装置1台にて複数台のエッチングマシンからの排ガス除害を行えるため場所をとりません。
  • 除害装置の運転状況に関わらずエッチングマシンの運転が可能です。
  • 除害装置から各種信号の受発信を行う事により、カラム交換、緊急時対応以外は、計装機器により遠隔監視運転が可能となります。
  • 圧力異常、温度異常によるカラムの自動切換により事故を未然に防ぐことができます。

お問合せ

メンブレン事業部:
住所:
〒261-7119 千葉県千葉市美浜区中瀬二丁目6番地1
WBGマリブウエスト19階
Eメール:
ecosafe.agc@agc.com
TEL:
043-350-3378
FAX:
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